多晶硅还原炉清洗及钟罩干式清理系统适用硅烷法多晶硅生产工艺，用于还原车间反应釜中硅污染物附着力不大的工况条件下无污染干式清洗。清洗时利用上下移动和旋转机构带动高压气体喷吹以及特殊旋转刷组合机构近距离对反应釜表面进行喷吹和接触式清扫达到清洗的目的。通过清洗旋转调速机构可满足各工况的要求。清洗的同时采用特殊除尘净化器一次性进行除尘净化。

长原喷雾自动高压多晶硅还原炉钟罩清洗系统主要用于西门子法多晶硅还原炉钟罩(炉筒)内壁的全自动清洗和烘干，其工作原理是以水力自驱动三维自动旋转喷头，形成360°的网状球面喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。

本系统用于多晶硅还原炉炉筒的清洗，炉筒内部高压清洗及烘干等一系列工序；系统工作模式为全自动操作（除了钟罩放置、移走），整个清洗烘干过程实现“一人一键”完成操作，操作人员辅助及监控整个工作过程即可；

长原喷雾还原炉炉筒清洗系统采用高压清洗的自动机械化设计，系统合理布置工艺单元，同时符合国家和当地有关环保、安全及消防规定主要分为清洗、烘干2个单元进行设计；其中清洗单元的执行机构与清洗烘干工作台布置在三楼，此防爆等级均为EXDIICT4；同时也考虑了相应的通风及废气处理收集功能；

多晶硅清洗/钟罩清洗系统特点：

1、技术能力强，设计合理，根据客户需求，总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，设计出本套系统，实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况，能源条件不同，提供个性化设计。

2、设备性能可靠，核心部件、元件和附件原装进口。

3、自动化程度高：PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。

4、适应范围广：可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。

5、节能、环保、安全：提供了预热(余热蒸汽、余热水或油)加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。

清洗工艺

还原炉钟罩到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走。

注：清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响，这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。

设备组成

1、高压热水清洗动力装置1套

由高压热水清洗机及附件(1套)，高压三维洗罐器(1套)，三维洗罐器升降装置(气动，1套)组成。

2、热风净化烘干机组1套

进风净化等级：10万级。

3、清洗烘干工作台及管道1套

4、电气控制系统1套

采用PLC+触摸屏全自动控制，全套控制软件。

注：水和风的加热方式：电加热，蒸汽、余热水或油的热交换器换热。

安装使用条件：

客户提供水、电、气，连接到目标设备处，能耗要求，

电    源：AC380V ，50HZ，3L+N；

常温  水： Q≥40-100L/min,DN40接口；